როგორ აშორებს და ინარჩუნებს ხელთათმანი დაბალ ტენიანობას და ჟანგბადის დონეს?
ხელთათმანის ყუთში სამუშაო გაზი მუდმივად რეცირკულაციულია დახურულ მარყუჟის სისტემაში glovebox Main Chamber- სა და Purifier- ს შორის (განკუთვნილია ტენიანობისა და ჟანგბადის ადსორბციისთვის). ამ პროცესს აკონტროლებს და აკონტროლებს PLC, იყენებს მილსადენებს, ცირკულაციის თაყვანისმცემლებს და სხვა ინტეგრირებულ კომპონენტებს.
როგორც სამუშაო გაზი გადის Purifier- ში , ტენიანობა და ჟანგბადი ეფექტურად ადსორბირდება და გაწმენდილი გაზი რეცირკულირდება ხელთათმან ყუთში. დროთა განმავლობაში, ეს მიმდინარე პროცესი ამცირებს ტენიანობის და ჟანგბადის დონეს 1 ppm- ზე ქვემოთ.
როდესაც გამწმენდი იღებს გაჯერებას, მათი განახლება შესაძლებელია რეგენერაციის გზით, რაც უზრუნველყოფს ტენიანობის და ჟანგბადის ეფექტურ შეწოვას.
საავტორო უფლება © კონფიდენციალურობის პოლიტიკა